等(deng)離(li)子發光(guang)分(fen)析(xi)終(zhong)點(dian)檢(jian)測(ce)儀(yi)

特(te)征(zheng)

• 布賴特(te)光(guang)柵(zha)

布賴特(te)光(guang)學(xue)系(xi)統(tong)是(shi)通(tong)過HORIBA Jobin Yvon制造(zao)的(de)壹個巨大(da)的(de)，直徑(jing)為(wei)70 mm的(de)偏差(cha)糾(jiu)正(zheng)凹(ao)面光柵(zha)而實現(xian)的。凹(ao)面光柵本身的聚(ju)光(guang)能力(li)使其(qi)具(ju)有(you) 比短(duan)焦(jiao)距車爾尼(ni)特(te)納(na)型光(guang)譜(pu)儀(yi)更(geng)為(wei)明(ming)亮(liang)的壹套簡易(yi)光學(xue)系(xi)統(tong)架構(gou)，並且可以小化(hua)因(yin)為(wei)鏡(jing)面及(ji)其(qi)他反(fan)射(she)面(mian)造(zao)成(cheng)的反(fan)射(she)損失。

• 背光式(shi)CCD傳感(gan)器(qi)可以提(ti)供高靈敏(min)度(du)和高分(fen)辨(bian)度(du)的(de)2048個光學(xue)通(tong)道(dao)。

背光式(shi)CCD可以達到高量子效(xiao)率(lv)，確(que)保從(cong)紫(zi)外光到可見(jian)光(guang)之(zhi)間(jian)的(de)寬(kuan)波(bo)段(duan)範(fan)圍內(nei)獲(huo)得穩定(ding)的(de)分(fen)光(guang)鏡使(shi)用。高靈敏(min)度(du)的(de)測量在紫(zi)外(wai)光(guang)波(bo)段(duan)，特(te)別(bie)是(shi)在(zai)那些較少(shao)受到幹擾影(ying)響(xiang)的波(bo)長範(fan)圍，使(shi)終(zhong)點(dian)監(jian)測成(cheng)為(wei)可能。

• 專(zhuan)為(wei)*制程(cheng)控(kong)制而準備(bei)的(de)Sigma-P軟(ruan)件(jian)

應(ying)制程(cheng)控(kong)制的要求，此(ci)軟(ruan)件(jian)可以執行(xing)多(duo)種工(gong)序(xu)，從(cong)等(deng)離(li)子體現(xian)象分(fen)析(xi)到測量數據(ju)的(de)數(shu)據(ju)庫創建和生(sheng)產設(she)備的遠程(cheng)遙(yao)控(kong)。測量工(gong)序(xu)的(de)可編程(cheng)架構(gou)設(she)計(ji)使(shi)其(qi)可以對多(duo)重監(jian)測(ce)和時序(xu)處(chu)理(li)進(jin)行(xing)設(she)定。它賦予檢(jian)測(ce)器(qi)不僅可以被用於(yu)終(zhong)點(dian)監(jian)測，同(tong)時也(ye)可以被廣泛(fan)的(de)用於(yu)等(deng)離(li)子體環(huan)境下(xia)的監測。

• 這是壹種對於(yu)等(deng)離(li)子體異常(chang)情(qing)況進(jin)行(xing)報(bao)警的*設(she)計(ji)，也(ye)可以通(tong)過利用2種(zhong)波(bo)長之(zhi)間(jian)的(de)變換(huan)系(xi)數(shu)來(lai)指導(dao)終(zhong)點(dian)測(ce)量。
• 全回收(shou)功(gong)能

壹旦收(shou)集(ji)到光譜(pu)學(xue)的(de)數(shu)據後，對制程(cheng)優化(hua)或者終(zhong)點(dian)監(jian)測的(de)模(mo)擬可以通(tong)過應(ying)用新的制程(cheng)設(she)計(ji)反(fan)復(fu)進(jin)行(xing)。

 

• 壹個用於(yu)識別(bie)等(deng)離(li)子中發(fa)光(guang)類(lei)別(bie)的(de)數(shu)據(ju)庫已經包含在內
• 光(guang)譜(pu)學(xue)數(shu)據(ju)可以轉換(huan)成(cheng)壹個時距記錄(lu)曲(qu)線(xian)圖(tu)，或(huo)者(zhe)可以通(tong)過屏(ping)幕(mu)格(ge)式(shi)，把操(cao)作(zuo)波(bo)形，比(bi)對參考(kao)數據(ju)獲(huo)得的相(xiang)對(dui)計(ji)算波形(xing)和其(qi)他信(xin)息(xi)顯示(shi)出(chu)來(lai)。
• 為(wei)時間(jian)記錄(lu)圖分(fen)析(xi)而準備(bei)的(de)自動圖形(xing)軟(ruan)件(jian)

從(cong)巨大(da)並伴隨幹(gan)擾的光(guang)譜(pu)數(shu)據(ju)中發(fa)現(xian)細微(wei)的圖形差異是(shi)壹個艱巨的(de)挑(tiao)戰。自動圖形(xing)軟(ruan)件(jian)將(jiang)自動地找(zhao)到圖形(xing)變化(hua)的(de)特(te)征(zheng)並測定(ding)為(wei)合(he)適(shi)的終(zhong)點(dian)波(bo)長。

• 強(qiang)大(da)的(de)終(zhong)點(dian)數(shu)學模(mo)型。
• 通(tong)過使用客(ke)戶(hu)波長範(fan)圍的(de)計(ji)算波形(xing)和過濾系(xi)統(tong)，終(zhong)點(dian)可以被準確(que)的發(fa)現(xian)。在接近2個(ge)區(qu)域(yu)的(de)2條(tiao)直線的(de)交(jiao)叉(cha)點(dian)，發(fa)展的(de)數(shu)學(xue)模(mo)型賦(fu)予(yu)機臺穩定(ding)的(de)監(jian)測(ce)細微(wei)變化(hua)的(de)性能。此(ci)功能確(que)保各點(dian)的(de)變化(hua)準確(que)地從(cong)幹(gan)擾中被(bei)區(qu)分(fen)出(chu)來(lai)，正如(ru)終(zhong)點(dian)在(zai)微(wei)小開(kai)放(fang)區(qu)域(yu)內(nei)的(de)細(xi)號變化(hua)，都(dou)能被(bei)準確(que)的監(jian)測。
• 超出(chu)微(wei)小開(kai)放(fang)區(qu)域(yu)（<0.2%）的(de)蝕(shi)刻(ke)監測(ce)。

當(dang)頻率(lv)率(lv)波(bo)器(qi)將幹(gan)擾信(xin)號從(cong)原(yuan)始信(xin)號中過濾掉後，不同(tong)信(xin)號（粉色(se)線(xian)）在圖(tu)形中的(de)比(bi)率(lv)（黑色線）變化(hua)（上(shang)升（A+B+C）/減小(xiao)（D+E+F））可以使我(wo)們準確(que)監測(ce)到終(zhong)點(dian)的(de)位置。

• 制程(cheng)設(she)計(ji)，壹種伴隨分(fen)析(xi)結果(guo)同(tong)步自動完(wan)成的(de)制程(cheng)生成(cheng)軟(ruan)件(jian)（選(xuan)擇(ze)項(xiang)軟(ruan)件(jian)）
• 制程(cheng)設(she)計(ji)是(shi)自動圖形(xing)分析(xi)工(gong)具(ju)的(de)壹種衍生版(ban)本。它賦予(yu)使(shi)用者(zhe)通(tong)過在顯示(shi)器(qi)上(shang)實時的(de)分(fen)析(xi)和模(mo)擬，生成(cheng)數(shu)學模(mo)型。這(zhe)種(zhong)數(shu)學模(mo)型可以很容易(yi)地被(bei)構(gou)建到真實的制程(cheng)裏(li)。對(dui)於(yu)那些微(wei)弱和復(fu)雜(za)的(de)發光(guang)類別型的(de)終(zhong)點(dian)監(jian)測， 或(huo)者(zhe)因(yin)制程(cheng)條(tiao)件(jian)的(de)變化(hua)而不能被(bei)發現(xian)的終(zhong)點(dian)監(jian)測，或(huo)者(zhe)類(lei)似(si)情(qing)況，這種設(she)計(ji)可以使制程(cheng)研(yan)制的負(fu)擔(dan)大大(da)減輕(qing)。
• *步：自動分離(li)出(chu)波長變化(hua)的(de)圖形(xing)；
• 第(di)二步：使用接近的(de)2條(tiao)直線，鑒定出(chu)變化(hua)點(dian)；
• 第(di)三步：通(tong)過完(wan)整的(de)數學模(mo)型進(jin)行(xing)的(de)EDP模(mo)擬管(guan)理(li)可以被輸出(chu)和構(gou)建到Sigma-P中；*的(de)統(tong)計(ji)處(chu)理(li)：反(fan)饋(kui)給制程(cheng)。
• 統計(ji)處(chu)理(li)編輯(ji)可以從(cong)大(da)量不同(tong)的視圖(tu)中分(fen)析(xi)日(ri)誌(zhi)數據，幫(bang)助提(ti)高異常(chang)分(fen)析(xi)和缺陷率。分(fen)析(xi)的(de)結果(guo)可以被反(fan)饋(kui)到測量當(dang)中。