能量(liang)色(se)散型(xing)微區X射線(xian)熒(ying)光(guang)光譜儀(yi) μEDX系(xi)列

• 采用(yong)島津*的(de)Ｘ射線(xian)聚(ju)光(guang)透鏡(jing)[集束(shu)毛(mao)細管(guan)透(tou)鏡(jing)]，X射(she)線(xian)只照(zhao)射樣品的(de)50μmφ微小領(ling)域(yu)，實現高靈敏(min)度、高精(jing)度分(fen)析(xi)。
• 可(ke)以在大氣(qi)中進行(xing)從(cong)輕元(yuan)素到(dao)重元(yuan)素（Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400）的(de)分(fen)析(xi)。
• 配(pei)備雙CCD（高倍率(lv),低倍率(lv)）攝像頭，可以在觀察(cha)樣品圖(tu)像的(de)同時(shi)方(fang)便(bian)地(di)決定(ding)分(fen)析(xi)位(wei)置，進行(xing)分(fen)析(xi)。
• 標(biao)準(zhun)配(pei)備(bei)無標(biao)樣定(ding)量(liang)FP法(fa)、薄膜成分(fen)/膜厚分(fen)析(xi)用(yong)的(de)薄膜(mo)FP法以(yi)及可以測(ce)定(ding)聚(ju)合物薄膜的(de)背(bei)景基(ji)本(ben)參數（BG-FP）法(fa)。
• 作為(wei)微(wei)區(qu)Ｘ射(she)線(xian)熒(ying)光(guang)光譜分(fen)析(xi)裝(zhuang)置，在世(shi)界上*配備了5種1次Ｘ射線(xian)濾(lv)光(guang)片(pian)自動交(jiao)換(huan)機(ji)構(gou)，可消除(chu)來自Ｘ射(she)線(xian)管(guan)的(de)特(te)征(zheng)Ｘ射(she)線(xian)，提高信(xin)噪(zao)比(bi)。
• 配備(bei)多元(yuan)素同時(shi)/自動掃(sao)描(miao)成(cheng)圖(tu)功能。采用高速(su)掃(sao)描(miao)成(cheng)圖(tu)，在短時(shi)間內便(bian)可(ke)獲得(de)圖(tu)像（μEDX-1200/1300）。追(zhui)加(jia)透射觀(guan)察(cha)單(dan)元(yuan)（選購），也(ye)可進行(xing)透(tou)射(she)Ｘ射線(xian)的(de)同時(shi)測(ce)定(ding)。
• 配(pei)備電(dian)子(zi)冷卻(que)式高計(ji)數率(lv)檢測(ce)器。無需(xu)液(ye)氮，可進行(xing)高精(jing)度分(fen)析(xi)。
  （μEDX-1400）
• 可(ke)輕松地(di)進行(xing)電(dian)子(zi)材(cai)料/部(bu)件的(de)鍍(du)層膜(mo)厚測(測)定(ding)、異物檢測(ce)、失效(xiao)解析(xi)及(ji)成圖(tu)分(fen)析(xi)。

                             
           印(yin)刷(shua)電路(lu)板(ban)焊(han)接(jie)部(bu)分(fen)的(de)分(fen)析(xi)             手機部(bu)件的(de)掃(sao)描(miao)成(cheng)圖(tu)分(fen)析(xi)