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當前位(wei)置：首頁 > 產品(pin)中心(xin) > 瑞(rui)士(shi)萬(wan)通(tong) > 離(li)子濃(nong)度(du)計系(xi)列(lie) > CS-131SC-1濃(nong)度計2
簡要(yao)描述(shu)：概要(yao)CS-131是(shi)半(ban)導體制造(zao)中(zhong)清洗工(gong)藝的(de)SC-1溶(rong)液(ye)用於(yu)高精度藥液濃度(du)的(de)監測儀(yi)，實(shi)現(xian)了過(guo)去(qu)所(suo)沒有(you)的(de)高(gao)速(su)響(xiang)應(ying)性(xing)和小(xiao)巧(qiao)化(hua)。可(ke)以常(chang)時(shi)間的(de)監測微粒以及有(you)機物的(de)清(qing)除(chu)作(zuo)業中(zhong)所(suo)使用的(de)SC-1溶(rong)液(ye)(NH3/H2O2/H2O)各成(cheng)分濃(nong)度。通(tong)過(guo)使用監測輸(shu)出的(de)回(hui)收(shou)控制，可(ke)以確保SC-1溶液(ye)的(de)濃(nong)度(du)在允(yun)許(xu)範(fan)圍(wei)內(nei)，同(tong)時(shi)，還(hai)可以避免(mian)不(bu)必要(yao)的(de)更(geng)換藥液工(gong)作(zuo)。並且(qie)，冷(leng)卻(que)器壹體型(xing)也進入(ru)了(le)產品(pin)陣容(rong)內(nei)，可(ke)適(shi)用(yong)較大範(fan)圍(wei)的(de)樣品(pin)溫度(du)。
產品(pin)型(xing)號：CS-131廠(chang)商(shang)性(xing)質(zhi)：代理商(shang)更(geng)新(xin)時(shi)間：2023-07-26訪(fang) 問 量(liang)：1597相關文章
詳細介(jie)紹(shao)
特點(dian)
監測周期大約(yue)為(wei)2秒(miao)，支持300mm工(gong)藝的(de)濃(nong)度(du)管(guan)理
實(shi)現(xian)了以大約(yue)2秒(miao)為(wei)監測周期(※)的(de)高(gao)速(su)響(xiang)應(ying)。支持向(xiang)批(pi)次(ci)式(shi)和單(dan)槽(cao)式(shi)清洗裝置定(ding)時(shi)反(fan)饋(kui)濃度(du)信(xin)息(xi)。(※不(bu)包(bao)含(han)藥液的(de)置(zhi)換時(shi)間、冷(leng)卻(que)時(shi)間)
小(xiao)巧(qiao)化(hua)設(she)計有(you)利於(yu)節(jie)省清(qing)洗裝置的(de)空(kong)間
由(you)於(yu)底面面積(ji)只有(you)原(yuan)來(lai)的(de)2/3(※)左(zuo)右，這(zhe)種(zhong)小(xiao)巧(qiao)化(hua)設(she)計有(you)利於(yu)清洗裝置節(jie)省空(kong)間。可以很容(rong)易地(di)組裝到清(qing)洗裝置中(zhong)。
(※和本(ben)公司(si)產品(pin)CS-220系列(lie)進行(xing)比(bi)較)
通(tong)過(guo)減(jian)少清(qing)洗工(gong)藝中(zhong)的(de)批(pi)次(ci)不良(liang)，提高產量(liang)
通(tong)過(guo)濃度(du)計的(de)信(xin)號(hao)輸(shu)出，進行(xing)SC-1溶(rong)液的(de)補給控制，從而(er)實(shi)現(xian)高再現(xian)性(xing)的(de)清(qing)洗。減(jian)少清(qing)洗工(gong)藝中(zhong)的(de)批(pi)次(ci)不良(liang)，從而(er)推進產量(liang)的(de)全面提高。
全自動監測與(yu)簡易控制
用(yong)戶(hu)只(zhi)需引入(ru)SC-1溶液即可。監測是(shi)全自動方式(shi)，因此(ci)開始監測後不需要(yao)進行(xing)任(ren)何控制。另(ling)外(wai)，由(you)於(yu)參照光譜(pu)測(ce)量(liang)時(shi)使用的(de)是(shi)空(kong)氣(qi)，所(suo)以不需(xu)要(yao)用水(shui)。
通(tong)過(guo)采取全面的(de)氣(qi)泡對策(ce)，可(ke)監測高溫樣品(pin)
在脫(tuo)泡槽中分離(li)氣泡，在監測過(guo)程(cheng)中(zhong)進壹步(bu)利(li)用(yong)電(dian)磁閥把(ba)氣泡混(hun)入(ru)監測單(dan)元(yuan)內(nei)的(de)發(fa)生次(ci)數抑(yi)制(zhi)在zui低(di)限(xian)度。並(bing)且，如(ru)果(guo)是(shi)冷(leng)卻(que)器壹體型(xing)產品(pin)，則(ze)可(ke)以直接(jie)倒入高(gao)溫度(du)樣品(pin)至濃(nong)度計。溫(wen)度(du)補償(chang)將(jiang)自動進行(xing)。
采用DC24V，實(shi)現(xian)高安全性(xing)
電(dian)源(yuan)采用DC24V低(di)壓(ya)電(dian)，提高了(le)安全性(xing)以避免(mian)觸(chu)電(dian)事故的(de)發(fa)生。並且(qie)，由(you)於(yu)內(nei)置(zhi)漏(lou)水(shui)傳(chuan)感器，在(zai)發生漏(lou)水(shui)時(shi)可(ke)以切斷(duan)SC-1溶液(ye)的(de)供應等，采取緊(jin)急措(cuo)施。
SC-1濃(nong)度計
CS-131
技(ji)術(shu)規格
型(xing)號和規格 | CS-131：無(wu)冷(leng)卻(que)器 |
監測對象 | SC-1(氨/過(guo)氧(yang)化(hua)氫水溶(rong)液(ye)) |
測量(liang)原(yuan)理 | 吸(xi)收(shou)光(guang)譜(pu)測(ce)定法 |
濃度(du)計算的(de)原(yuan)理 | 溫度補償(chang)型(xing)多變量(liang)解析(xi)法 |
監測範圍 | 氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00% |
再現(xian)性(xing) | 氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25% |
藥(yao)液(ye)條件(jian) 溫(wen)度 | CS-131：20〜30℃ |
藥(yao)液條件(jian) 流(liu)量(liang) | CS-131：20〜60mL/min |
藥液(ye)條件(jian) 壓(ya)力(li) | 0.10〜0.20MPa |
監測周期 | zui小(xiao)約(yue)2秒(不(bu)包(bao)含(han)藥液的(de)置(zhi)換時(shi)間・冷(leng)卻(que)時(shi)間) |
設置溫度(du) | 20〜25℃ |
操(cao)作(zuo)面板(ban) | 1)溫度(du)檢測值(zhi)的(de)顯(xian)示：氨(an)、過(guo)氧(yang)化(hua)氫、水 |
串(chuan)行輸(shu)入(ru) | RS-232C |
並(bing)行(xing)輸(shu)入(ru) | DC12〜30V(光電(dian)耦合器絕(jue)緣) |
並(bing)行(xing)輸(shu)出 | 開路集電(dian)極輸(shu)出為(wei)ON 時(shi)的(de)zui大電(dian)流：5mA、為(wei)OFF時(shi)的(de)zui大電(dian)壓(ya)：30V |
模(mo)擬(ni)輸(shu)出 | 4〜20mA(2輸(shu)出：NH3濃(nong)度、H2O2濃度的(de)2輸(shu)出) |
電(dian)源(yuan) | DC24V±10%， 2A |
外(wai)形(xing)尺寸 | CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm |
質(zhi)量(liang) | CS-131：約11kg |
連(lian)接(jie)配管(guan)尺寸 | 導入用(yong)、排出用(yong)外(wai)徑(jing)均(jun)為(wei)3mm(內(nei)徑(jing)均(jun)為(wei)2mm) |
配(pei)管(guan)接(jie)頭 | Nippon Pillar Super型(xing) |
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