濃度計

特點(dian)

實(shi)時顯(xian)示濃度
可以通(tong)過(guo)導(dao)電率傳(chuan)感(gan)器(qi)檢測濃度，通過<導(dao)電率>-<氟(fu)酸(suan)濃度>的檢量(liang)線(xian)，自動地實(shi)時顯(xian)示氟(fu)酸(suan)濃度。

實(shi)現了(le)半(ban)導(dao)體制(zhi)造(zao)工(gong)藝中(zhong)低(di)濃度範圍的(de)高(gao)精(jing)度(du)
產(chan)品幾乎覆(fu)蓋(gai)了(le)半(ban)導(dao)體制(zhi)造(zao)工(gong)藝中(zhong)所使用的(de)溶液的量程(cheng)(0-1/2/5/10/20wt%)。即(ji)使在(zai)0-1wt%的低(di)濃度量程中(zhong)，也(ye)實(shi)現了(le)±2%F.S.以(yi)內(nei)的再現精度(du)。適(shi)合於(yu)要(yao)求(qiu)低(di)濃度範圍控制(zhi)的(de)存(cun)儲(chu)器(qi)生(sheng)產(chan)線(xian)中(zhong)發揮出(chu)威(wei)力。

確保穩定(ding)檢測的(de)傳(chuan)感器(qi)
沈(chen)浸(jin)型(xing)傳感(gan)器(qi)已(yi)經被PFA樹(shu)脂模塊(kuai)化，所以不會(hui)因溶液而發生(sheng)金屬腐蝕現象(xiang)。並(bing)且，金屬等不(bu)純物不(bu)會(hui)溶入(ru)到樣品溶液中(zhong)，因此可(ke)以(yi)對其進(jin)行(xing)穩定(ding)的(de)檢測。

裝(zhuang)有(you)報(bao)警功能(neng)
為了(le)實(shi)現更加可靠(kao)的工藝管(guan)理，分(fen)別具有濃度輸出(chu)以(yi)及濃度上限(xian)・濃度上上限(xian)・濃度下(xia)限(xian)・濃度下(xia)下(xia)限(xian)的報(bao)警輸(shu)出(chu)功能(neng)。

可(ke)以用於(yu)多(duo)用途(tu)
采用小(xiao)巧(qiao)的DIN96尺寸的(de)轉(zhuan)換(huan)器(qi)。小(xiao)型(xing)・輕(qing)便(bian)，適(shi)於(yu)組裝(zhuang)到氟酸(suan)的(de)稀(xi)釋(shi)裝(zhuang)置(zhi)、供給裝(zhuang)置(zhi)、晶(jing)片的(de)清(qing)洗(xi)裝(zhuang)置(zhi)中(zhong)。並且(qie)，具有(you)浸(jin)沒到液體(ti)中(zhong)的沈(chen)浸(jin)型(xing)傳感(gan)器(qi)(CM-200)和(he)設置(zhi)在(zai)工藝(yi)配管(guan)中(zhong)的流(liu)通形傳(chuan)感(gan)器(qi)(CM-210)。您(nin)可以(yi)根據(ju)用途(tu)選擇(ze)。

測量(liang)原(yuan)理

2個(ge)環狀(zhuang)螺線(xian)管(T1是(shi)通(tong)過(guo)交(jiao)流(liu)電的勵磁(ci)變壓(ya)器(qi)、T2是(shi)檢測變(bian)壓(ya)器(qi))被(bei)模塊(kuai)化於(yu)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)塑料(liao)外殼內部。當(dang)傳(chuan)感器(qi)沈(chen)浸(jin)在(zai)溶液中(zhong)時，溶液將在(zai)2個(ge)環狀(zhuang)螺線(xian)管之間產(chan)生(sheng)壹(yi)個(ge)閉(bi)合(he)回(hui)路。如(ru)果環狀(zhuang)螺線(xian)管T1的線(xian)圈中(zhong)通過(guo)壹恒(heng)定的(de)交流電流，則(ze)會(hui)在(zai)磁圈中(zhong)產生(sheng)壹(yi)恒(heng)定的(de)磁場，依照樣品的導(dao)電率電流i流過(guo)樣品溶液。根據(ju)電流i環狀(zhuang)螺線(xian)管T2中(zhong)將會(hui)產生(sheng)相應(ying)的磁場，並(bing)且在(zai)T2的線(xian)圈中(zhong)將會(hui)產生(sheng)感(gan)應(ying)電動勢。由(you)於(yu)感(gan)應(ying)電動勢e(電壓)與樣(yang)品的電導率呈(cheng)比(bi)例關(guan)系(xi)，通過測量(liang)e可(ke)得知(zhi)電導率值(zhi)。這樣經過檢測的(de)導(dao)電率和(he)濃度存在(zai)高(gao)的(de)關(guan)聯性，可以(yi)根據(ju)預(yu)已知(zhi)的(de)參(can)考曲線(xian)計算得出(chu)並(bing)顯(xian)示濃度。

規格