殘(can)余(yu)氣體分析(xi)儀

特(te)征

• 較(jiao)為(wei)緊(jin)湊的安(an)裝尺寸(cun)和(he)較(jiao)輕(qing)的(de)重(zhong)量

與傳(chuan)統(tong)的(de)殘(can)余(yu)氣體分析(xi)儀相比，尺寸(cun)較(jiao)小(xiao)，這使它(ta)容(rong)易(yi)整合(he)到(dao)您(nin)的(de)系(xi)統(tong)之中。

• 高性能

在(zai)只(zhi)占(zhan)傳(chuan)統(tong)電(dian)極(ji)壹小(xiao)部(bu)分(fen)的體積裏(li)，微型(xing)化(hua)的(de)九(jiu)電(dian)極(ji)排(pai)列(lie)提供了(le)良(liang)好(hao)的(de)靈(ling)敏度。

• 高(gao)壓(ya)力條件下可使用(yong)

可(ke)以(yi)在(zai)高(gao)於(yu)0.9Pa（7mTorr, 9 x 10^-3mbar）的(de)壓(ya)力條件下使用(yong)，在(zai)許多(duo)需要昂(ang)貴(gui)真空泵(beng)的(de)應用(yong)當(dang)中，可以(yi)簡化(hua)或(huo)者省(sheng)略泵(beng)的(de)使用(yong)。

• 已經校(xiao)準過(guo)的(de)可替換傳(chuan)感器接(jie)頭(tou)

此傳(chuan)感器接(jie)頭(tou)在出貨之前已經進行過(guo)預(yu)調諧(xie)和(he)校準。允(yun)許客(ke)戶自己在現(xian)場進行傳(chuan)感器的更換。

• 網絡傳(chuan)感器

升級(ji)到(dao)八(ba)電(dian)極(ji)後，可以(yi)通過(guo)壹臺(tai)使用(yong)RS485接(jie)口的(de)電(dian)腦進行監(jian)測(ce)。此系統(tong)也可以(yi)通過(guo)以(yi)太網進行遠(yuan)程(cheng)監(jian)測。

• 用(yong)戶友好(hao)軟(ruan)件

微(wei)電(dian)極(ji)掃描(miao)軟(ruan)件允(yun)許用(yong)戶用(yong)各種不同的(de)方式監(jian)測(ce)氣體的部(bu)分(fen)壓(ya)力，如(ru)趨勢(shi)曲(qu)線圖，相似(si)性曲(qu)線圖，泄(xie)露(lu)模式，條形(xing)統(tong)計(ji)圖，3D等

• 監測控(kong)制(zhi)

可(ke)選(xuan)擇(ze)性的監測控制器可以(yi)安(an)裝(zhuang)在反應室的(de)光譜發生(sheng)器上(shang)，使用(yong)戶無(wu)需電(dian)腦可(ke)以(yi)監(jian)測(ce)真空反應室。

■測(ce)量原理

殘(can)余氣體分析(xi)儀是由壹個(ge)離子源，壹個(ge)質量分(fen)光儀和(he)壹個(ge)監測(ce)單元(yuan)組成(cheng)。當殘(can)余(yu)氣體與從(cong)高(gao)溫金屬(shu)絲(si)釋(shi)放的熱電(dian)子碰撞(zhuang)後，它將(jiang)被(bei)離子化(hua)。並且(qie)，這些(xie)因(yin)此(ci)產生(sheng)的(de)離子會加速(su)會合(he)到(dao)質量能譜儀上(shang)。在質量能譜儀上(shang)內(nei)，直(zhi)流和交流電(dian)壓(ya)被應用(yong)到(dao)四個圓柱(zhu)形的(de)電(dian)極(ji)上(shang)（方形(xing)排(pai)列(lie)），從而(er)讓(rang)離子因(yin)質量的(de)不同而(er)被(bei)分離開。這些(xie)被(bei)分開的離子通過(guo)法(fa)拉(la)第杯作(zuo)為(wei)直(zhi)流電(dian)被發(fa)現(xian)。這種(zhong)離子電(dian)流是與殘(can)余氣體的質量成(cheng)比例(li)的。