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當(dang)前(qian)位置：首頁(ye) > 產品(pin)中心(xin) > > HORIBA（過程(cheng)&環境） > LEM-CT-670-G50實時膜厚檢測(ce)儀(yi)
簡要描述：產地類(lei)別(bie) 進口 應(ying)用(yong)領(ling)域 建(jian)材,電子(zi),汽車(che),電氣 概要實時的(de)幹涉(she)測(ce)量(liang)設(she)備(bei)，提供(gong)蝕(shi)刻(ke)/鍍膜制(zhi)程(cheng)中高(gao)精度的(de)膜厚及(ji)蝕刻(ke)溝深度檢測(ce)。單(dan)色光(guang)打在(zai)樣品(pin)表面(mian)，由於(yu)膜厚和高度變(bian)化導(dao)致不(bu)同(tong)的(de)光路長度時，使用(yong)幹涉(she)測(ce)量(liang)法(fa)。通(tong)過循環，系統(tong)能(neng)在(zai)監控(kong)區(qu)使(shi)用實時監測的(de)方(fang)法(fa)計(ji)算(suan)蝕刻(ke)和鍍膜的(de)速度，在(zai)規(gui)定(ding)的(de)膜厚和槽深來進行終點檢測(ce)。基(ji)於這個(ge)相(xiang)對(dui)簡單(dan)的(de)理(li)論，系統(tong)不(bu)但(dan)非常(chang)穩(wen)定(ding)，並(bing)且可用於復(fu)雜(za)的(de)多(duo)層(ceng)薄(bo)膜。
產品(pin)型號(hao)：LEM-CT-670-G50廠商性(xing)質(zhi)：代(dai)理(li)商更(geng)新時間：2023-07-27訪(fang) 問 量(liang)：1042相關(guan)文章(zhang)
詳(xiang)細介紹
| 品(pin)牌(pai) | 其他品牌 |
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實時的(de)幹涉(she)測(ce)量(liang)設(she)備(bei)，提供(gong)蝕(shi)刻(ke)/鍍膜制(zhi)程(cheng)中高(gao)精度的(de)膜厚及(ji)蝕刻(ke)溝深度檢測(ce)。單(dan)色光(guang)打在(zai)樣品(pin)表面(mian)，由於(yu)膜厚和高度變(bian)化導(dao)致不(bu)同(tong)的(de)光路長度時，使用(yong)幹涉(she)測(ce)量(liang)法(fa)。通(tong)過循環，系統(tong)能(neng)在(zai)監控(kong)區(qu)使(shi)用實時監測的(de)方(fang)法(fa)計(ji)算(suan)蝕刻(ke)和鍍膜的(de)速度，在(zai)規(gui)定(ding)的(de)膜厚和槽深來進行終點檢測(ce)。基(ji)於這個(ge)相(xiang)對(dui)簡單(dan)的(de)理(li)論，系統(tong)不(bu)但(dan)非常(chang)穩(wen)定(ding)，並(bing)且可用於復(fu)雜(za)的(de)多(duo)層(ceng)薄(bo)膜。
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