微(wei)量(liang)氣體分析儀

簡(jian)要(yao)描述(shu)：應(ying)用領(ling)域(yu) 環保,化工(gong),石(shi)油,電(dian)子微(wei)量(liang)氣體分析儀它是可以對(dui)用(yong)於半導體工藝的混合(he)氣體（N2、O2、He、Ar、H2、Air）中的微量不純物進行(xing)超(chao)高靈敏度、高精(jing)度(du) （檢(jian)測(ce)感(gan)度可至(zhi)10ppb）連續檢測(ce)的裝(zhuang)置(zhi)。由於采用(yong)了(le)交替(ti)流動調(tiao)制方(fang)式(shi)，可以和(he)零(ling)氣體不斷(duan)比(bi)較的同時(shi)進行(xing)檢(jian)測(ce)，所(suo)以沒(mei)有(you)零(ling)點(dian)漂(piao)移(yi)，能夠獲(huo)得長(chang)期(qi)穩(wen)定的檢測值(zhi)。由於它通(tong)過(guo)19英(ying)寸RACK方式(shi)進行(xing)了(le)集中(zhong)，所(suo)以系(xi)統(tong)升級也(ye)很(hen)容(rong)易(yi)。適於半導體氣體制造(zao)設(she)備的質量管(guan)理。

產品(pin)型(xing)號(hao)：GA-360E
廠(chang)商(shang)性(xing)質：代理(li)商(shang)
更新時間(jian)：2023-07-27
訪(fang) 問(wen) 量：1444

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微量(liang)氣體分析儀

產品(pin)性(xing)能

1分析(xi)儀(yi)可以搭(da)載(zai)CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時(shi)以數字形(xing)式(shi)顯(xian)示濃(nong)度(du)。

采用(yong)了(le)交替(ti)流動調(tiao)制方(fang)式(shi)，沒有(you)零(ling)點(dian)漂(piao)移(yi)，可以獲(huo)得長(chang)期(qi)穩(wen)定的連續檢測(ce)值(zhi)。

不需要(yao)進行(xing)光(guang)學(xue)調(tiao)整，維(wei)護性(xing)得到了(le)提(ti)高。

由於搭載(zai)有(you)流量（壓(ya)力）異常、斷(duan)路器（電(dian)磁閥）、失火(huo)報(bao)警(jing)（GA-360E）、電(dian)源(yuan)斷開的自我診斷(duan)功(gong)能，所(suo)以能夠迅(xun)速(su)地(di)在發(fa)生異常時(shi)采取措(cuo)施(shi)。