日立(li)掃(sao)描(miao)電子顯(xian)微鏡

日(ri)立(li)掃(sao)描(miao)電子顯(xian)微鏡

SU8600

高(gao)分辨場發(fa)射掃(sao)描(miao)電子顯(xian)微鏡 SU8600系(xi)列(lie)

*設備照(zhao)片包含(han)選(xuan)配項。

SU8600系(xi)列(lie)秉(bing)承(cheng)了Regulus8200系(xi)列(lie)的(de)高(gao)質(zhi)量圖像、大(da)束(shu)流(liu)分(fen)析(xi)及長時(shi)間(jian)穩定運(yun)行的(de)冷(leng)場成像技(ji)術(shu)，同(tong)時還提(ti)升了(le)高(gao)通(tong)量、自動(dong)數據(ju)獲(huo)取(qu)能力。

特(te)點

*高(gao)分辨成(cheng)像

日(ri)立(li)的(de)高(gao)亮(liang)度(du)電子源可(ke)保證了(le)即(ji)使在(zai)低(di)著(zhe)陸電壓下，也(ye)可(ke)獲(huo)得(de)高分辨(bian)的(de)圖(tu)像。

高(gao)襯(chen)度(du)的(de)低(di)加(jia)速(su)電壓背散射圖(tu)像

3D NAND截(jie)面(mian)觀察;

在(zai)低(di)加(jia)速(su)電壓條件下，背散射電(dian)子(zi)信號能夠顯示(shi)出氧(yang)化矽層和(he)氮(dan)化(hua)矽層的(de)襯(chen)度(du)差別。

快(kuai)速(su)BSE圖(tu)像：新(xin)型(xing)閃(shan)爍(shuo)體(ti)背散射電(dian)子(zi)探測(ce)器(qi)(OCD)*

由(you)於使(shi)用(yong)了(le)新(xin)型(xing)的(de)OCD探(tan)測(ce)器(qi)，即(ji)使掃(sao)描(miao)時間不(bu)到(dao)1秒(miao)，也仍然可(ke)以觀(guan)察(cha)到(dao)Fin-FET清(qing)晰(xi)的(de)深層結(jie)構(gou)圖像.

自動(dong)化(hua)功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuang)建(jian)連續圖像采(cai)集(ji)的(de)自動(dong)化(hua)工作流(liu)程(cheng)。EM Flow Creator將(jiang)不(bu)同(tong)的(de)SEM功能定義為圖(tu)形化的(de)模(mo)塊(kuai)，如(ru)設置放(fang)大倍率(lv)、移(yi)動(dong)樣(yang)品位置、調(tiao)節(jie)焦(jiao)距(ju)和(he)明暗對(dui)比度(du)等(deng)。用(yong)戶(hu)可(ke)以通(tong)過簡(jian)單的(de)鼠(shu)標拖拽(zhuai)，將這(zhe)些模(mo)塊(kuai)按(an)邏輯(ji)順序組(zu)成(cheng)壹(yi)個(ge)工作程序。經過(guo)調(tiao)試(shi)和(he)確(que)認後，該(gai)程(cheng)序便(bian)可(ke)以在(zai)每次調(tiao)用(yong)時(shi)自動(dong)獲(huo)得(de)高質(zhi)量、重現性(xing)好(hao)的(de)圖(tu)像數據(ju)。

靈(ling)活(huo)的(de)用(yong)戶(hu)界(jie)面(mian)

原生支(zhi)持雙(shuang)顯(xian)示(shi)器(qi)，提(ti)供(gong)靈(ling)活(huo)、高效的(de)操(cao)作(zuo)空(kong)間。6通(tong)道同(tong)時顯示(shi)與保存(cun)，實(shi)現快(kuai)速(su)的(de)多信號觀測(ce)與采(cai)集。

日(ri)立(li)掃(sao)描(miao)電子顯(xian)微鏡

技(ji)術(shu)參(can)數

*減速(su)模式(shi)下