SC-1濃(nong)度計

概要
CS-131是半導(dao)體制造(zao)中清洗(xi)工(gong)藝的SC-1溶(rong)液(ye)用於(yu)高(gao)精度藥液(ye)濃(nong)度的監(jian)測儀(yi)，實(shi)現(xian)了(le)過(guo)去(qu)所沒(mei)有(you)的高(gao)速響(xiang)應性和(he)小巧化(hua)。可(ke)以(yi)常(chang)時間的監(jian)測微(wei)粒(li)以(yi)及(ji)有(you)機(ji)物(wu)的清除(chu)作業(ye)中所使用的SC-1溶(rong)液(ye)(NH3/H2O2/H2O)各(ge)成分(fen)濃度。通(tong)過(guo)使用監(jian)測輸(shu)出(chu)的回(hui)收控(kong)制，可(ke)以(yi)確(que)保(bao)SC-1溶(rong)液(ye)的濃(nong)度在允許範(fan)圍內，同時，還(hai)可(ke)以(yi)避(bi)免不(bu)必(bi)要的更(geng)換藥(yao)液(ye)工(gong)作。並且(qie)，冷(leng)卻(que)器壹體型也(ye)進入(ru)了(le)產(chan)品陣容(rong)內(nei)，可(ke)適用較(jiao)大(da)範(fan)圍的樣(yang)品溫(wen)度。

特點(dian)

監(jian)測周期大(da)約為(wei)2秒，支(zhi)持(chi)300mm工(gong)藝的濃(nong)度管理(li)
實(shi)現(xian)了(le)以(yi)大(da)約2秒(miao)為(wei)監(jian)測周期(※)的高(gao)速響(xiang)應。支(zhi)持(chi)向(xiang)批次式和(he)單(dan)槽(cao)式清洗(xi)裝(zhuang)置(zhi)定(ding)時反(fan)饋(kui)濃(nong)度信息(xi)。(※不(bu)包(bao)含(han)藥(yao)液(ye)的置(zhi)換時間、冷(leng)卻時間)

小(xiao)巧化(hua)設計有(you)利(li)於(yu)節省清洗(xi)裝(zhuang)置(zhi)的空間
由(you)於(yu)底面面積只(zhi)有(you)原(yuan)來(lai)的2/3(※)左(zuo)右，這(zhe)種(zhong)小巧化(hua)設計有(you)利(li)於(yu)清洗(xi)裝(zhuang)置(zhi)節省空間。可(ke)以(yi)很(hen)容(rong)易地組裝(zhuang)到(dao)清洗(xi)裝(zhuang)置(zhi)中。
(※和(he)本公(gong)司(si)產(chan)品CS-220系列進行比較)

通(tong)過(guo)減少(shao)清洗(xi)工(gong)藝中的批(pi)次不(bu)良，提高(gao)產量(liang)
通(tong)過(guo)濃(nong)度計的信(xin)號輸(shu)出(chu)，進行SC-1溶(rong)液(ye)的補給控(kong)制，從(cong)而(er)實(shi)現(xian)高(gao)再(zai)現(xian)性的清洗(xi)。減少(shao)清洗(xi)工(gong)藝中的批(pi)次不(bu)良，從而(er)推進產(chan)量(liang)的全(quan)面提高(gao)。

全自動(dong)監(jian)測與(yu)簡易控(kong)制
用戶(hu)只(zhi)需(xu)引入(ru)SC-1溶(rong)液(ye)即(ji)可(ke)。監(jian)測是全自動(dong)方式，因(yin)此(ci)開(kai)始(shi)監(jian)測後不(bu)需(xu)要進行任何控(kong)制。另外(wai)，由(you)於(yu)參(can)照(zhao)光(guang)譜(pu)測量(liang)時使用的是空氣，所以(yi)不(bu)需(xu)要用水。

通(tong)過(guo)采取全(quan)面的氣泡對(dui)策，可(ke)監(jian)測高(gao)溫(wen)樣(yang)品
在脫泡槽(cao)中分(fen)離(li)氣泡，在監(jian)測過(guo)程(cheng)中進壹步利(li)用電(dian)磁(ci)閥把(ba)氣泡混入(ru)監(jian)測單(dan)元(yuan)內(nei)的發生(sheng)次數抑制在zui低(di)限(xian)度。並且(qie)，如果是冷卻(que)器壹體型產(chan)品，則可(ke)以(yi)直(zhi)接(jie)倒入(ru)高(gao)溫(wen)度樣品至濃(nong)度計。溫(wen)度補償(chang)將自動(dong)進行。

采用DC24V，實(shi)現(xian)高(gao)安全(quan)性
電源采用DC24V低(di)壓(ya)電，提(ti)高(gao)了安(an)全性以(yi)避(bi)免觸電(dian)事故的發生(sheng)。並且(qie)，由(you)於(yu)內置(zhi)漏(lou)水傳感(gan)器，在發生(sheng)漏水時可(ke)以(yi)切(qie)斷SC-1溶(rong)液(ye)的供(gong)應等(deng)，采取緊急措施。

SC-1濃度計

CS-131

技(ji)術(shu)規格